PVD-Anlagen
Wir konstruieren und bauen Sonderanlagen für die Methoden Sputtern und Lichtbogenverdampfen der Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD).
Hier sind Beispiele von PVD-Anlagen, die wir gebaut haben:
Hier sind Beispiele von PVD-Anlagen, die wir gebaut haben:
Kombinierte Lichtbogenverdampfungs- und PECVD-Anlage zur Beschichtung von Profilen von Duschkabinen mit Hartchrom. Die Profile werden aktiviert, anschließend mit Chrom beschichtet und zuletzt mit einem Plasmapolymer beschichtet. Alle Prozessschritte werden in der selben Kammer ohne Transfers durchgeführt.
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Sputteranlage mit einem Dual Magnetron. Damit ist es möglich, zwei Materialien gleichzeitig zu sputtern. Die Anlage wird für F&E an der Brandenburgisch Technischen Universi- tät Cottbus-Senftenberg eingesetzt.
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