Anlage PORTA

Spezifikationen

Gesamtaufbau:

Standgerät
Außenmaße: 1650 × 2050 × 3200 mm (B × H × T)

Prozesskammer:

Material: Edelstahl
Volumen: 720 Liter
Innenmaße: 900 × 900 × 900 mm (B × H × T)

Gasmengen-regulation:

Bis zu 7 automatisierte Gasflussregler (MFC)

Energie-Einspeisung:

Radiofrequenz (RF):
Leistung bis 10 kW,
Anregungsfrequenz 13,56 MHz,
Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk
wassergekühltes Elektrodensystem

Sicherheits-elemente:

Induktiver Türsicherheitskontakt,
Not-Aus,
Entspricht der gültigen CE-Norm

Steuerung:

SPS mit Display, voll-automatisierter Plasmaprozess

Anschlusswerte:

Strom:
Druckluft:
Prozessgas:
Leistungsaufnahme:
Wasser:

400 V, (L1, L2, L3, N, P), 50 Hz
6 bar, wasser- und ölfrei
1 bis 2,5 bar
max. 15 kW
2 bis 3 bar, 6 bis 11 l/min

Gewicht:

Vakuumpumpe:

Ca. 1000 kg, ohne Vakuumpumpe

System bestehend aus Vor- und Hauptpumpe

Optionen

PC-Steuerung:

Netzwerk:

Visualisierungssoftware und Prozessdiagramme

Ausrüstung mit Netzwerkkarte für Fernwartung

Kontaktaufnahme

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