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Anlage PORTA

Spezifikationen

Gesamtaufbau:
Standgerät
Außenmaße: 1650
× 2050 × 3200 mm (B × H × T)
Prozesskammer:
Material: Edelstahl
Volumen: 720 Liter
Innenmaße: 900
× 900 × 900 mm (B × H × T)
Gasmengen-regulation:
Bis zu 7 automatisierte Gasflussregler (MFC)
Energie-Einspeisung:
Radiofrequenz (RF):
Leistung bis 10 kW,
Anregungsfrequenz 13,56 MHz,
Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk

wassergekühltes Elektrodensystem
Sicherheits-elemente:
Induktiver Türsicherheitskontakt,
Not-Aus,
Entspricht der gültigen CE-Norm
Steuerung:
SPS mit Display, voll-automatisierter Plasmaprozess
Anschlusswerte:
Strom:
Druckluft:
Prozessgas:
Leistungsaufnahme:
Wasser:
400 V, (L1, L2, L3, N, P), 50 Hz
6 bar, wasser- und ölfrei
1 bis 2,5 bar
max. 15 kW
2 bis 3 bar, 6 bis 11 l/min

Gewicht:
Vakuumpumpe:
Ca. 1000 kg, ohne Vakuumpumpe
System bestehend aus Vor- und Hauptpumpe
Anlage Porta

Optionen

PC-Steuerung:
Netzwerk:
Visualisierungssoftware und Prozessdiagramme
Ausrüstung mit Netzwerkkarte für Fernwartung
Kontaktaufnahme
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