PEALD 3D
Mit unseren PEALD 3D Anlagen können 3D-Teile mit den ALD 3D-Prozessen beschichtet werden.
Die maximale Größe der zu beschichteten Teile beträgt 150 × 150 × 150 mm. Je nach Größe und Form der Teile bieten wir Anlagen mit einem Kammervolumen von 10 oder 20 Litern an.
Die maximale Größe der zu beschichteten Teile beträgt 150 × 150 × 150 mm. Je nach Größe und Form der Teile bieten wir Anlagen mit einem Kammervolumen von 10 oder 20 Litern an.
PEALD 3D-Anlage mit 20 LiterKammervolumen für Kleinserien-beschichtung, Forschung und Entwicklung. |
PEALD-Anlage mit 10 Liter
Kammervolumen für Flachsubstrate, Forschung und Entwicklung. |