Laboranlage für kapazitiv gekoppeltes Plasma (CCP), induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) oder eine Kombination von CCP und ICP. Sie kann für die Technologien PECVD, ALD und PEALD verwendet werden.
Außenmaße: 400 × 730 × 520 mm (B × H × T)
Informationen:
Detaillierte Informationen sind auf myplas.de zu finden.
