Anlage LINEA
Allgemein:
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Inline-Anlage für Clearprotect 3D-Beschichtungen.
Besteht aus 1 Prozess- und 2 Nebenkammern. |
Prozesskammer:
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Material: Edelstahl
Volumen: bis zu 1200 Liter Innenmaße: bis zu 1200 × 1200 × 1000 mm (B × H × T) Die Prozesskammer kann mit bis zu 7 Beschichtungsebenen ausgestattet werden. |
Gasmengen-regulation:
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2 automatisierte Gasflussregler (MFC)
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Energie-Einspeisung:
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Unabhängige Energieversorgung jeder Beschichtungsebene.
Radiofrequenz (RF): Leistung bis 3 kW pro Ebene, Anregungsfrequenz 13,56 MHz, Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk wassergekühltes Elektrodensystem |
Sicherheits-elemente:
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Induktiver Türsicherheitskontakt,
Not-Aus, Entspricht der gültigen CE-Norm |
Steuerung:
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SPS mit Display, voll-automatisierter Plasmaprozess
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Anschlusswerte:
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Vakuumpumpe:
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System bestehend aus mindestens einer Vor- und Hauptpumpe für jede Kammer.
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