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Anlage DOMINO XV
Spezifikationen
Gesamtaufbau:
Standgerät
Außenmaße:
600
×
1900
×
800 mm (B
×
H
×
T)
Prozesskam-mer:
Material: Edelstahl
Volumen: 80 Liter
Innenmaße: 400
×
400
×
500 mm (B
×
H
×
T)
Kann in diesen Konfigurationen betrieben werden:
mit 1, 2 oder 3 Tabletts
mit einer Drehtrommel (Volumen 14 Liter)
Gasmengen-regulation:
Bis zu 4
automatisierte
Gasflussregler (MFC)
Energie-Einspeisung:
2 Alternativen
:
Radiofrequenz (RF):
Leistung bis
1200
W,
Anregungsfrequenz 13,56 MHz,
Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk
Niederfrequenz (LF):
Leistung bis
1250
W,
Anregungsfrequenz 10 bis 300 kHz
In der Tablett-Konfiguration ist jedes Tablett elektrisch unabhängig.
Sicherheits-elemente:
Induktiver Türsicherheitskontakt,
Not-Aus,
Entspricht der gültigen CE-Norm
Steuerung:
S
PS mit Display, voll-automatisierter Plasmaprozess
Anschlusswerte:
Strom:
Druckluft:
Prozessgas:
Leistungsaufnahme:
Wasser:
400 V, 32 A, 50 Hz
6 bar, wasser- und ölfrei
1 bis 1,5 bar
max. 5,5 kW
2 bis 3 bar, 3 bis 7 l/min
Vakuumpumpe:
Gewicht:
System bestehend aus Vor- und Hauptpumpe
Ca. 280 kg, ohne Vakuumpumpe
Domino XV mit 3 Tabletts.
Domino XV mit Drehtrommel.
Netzwerk:
Ausrüstung mit Netzwerkkarte für Fernwartung
Kontaktaufnahme
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