Anlage DOMINO XV

Spezifikationen

Gesamtaufbau:

Standgerät
Außenmaße: 600 × 1900 × 800 mm (B × H × T)

Prozesskam-mer:

Material: Edelstahl
Volumen: 80 Liter
Innenmaße: 400 × 400 × 500 mm (B × H × T)

Kann in diesen Konfigurationen betrieben werden:

• mit 1, 2 oder 3 Tabletts
• mit einer Drehtrommel (Volumen 14 Liter)

Gasmengen-regulation:

Bis zu 4 automatisierte Gasflussregler (MFC)

Energie-Einspeisung:

2 Alternativen:

Radiofrequenz (RF):
Leistung bis 1200 W,
Anregungsfrequenz 13,56 MHz,
Automatisches RF-Anpassungsnetzwerk

Niederfrequenz (LF):
Leistung bis 1250 W,
Anregungsfrequenz 10 bis 300 kHz

In der Tablett-Konfiguration ist jedes Tablett elektrisch unabhängig.

Sicherheits-elemente:

Induktiver Türsicherheitskontakt,
Not-Aus,
Entspricht der gültigen CE-Norm

Steuerung:

SPS mit Display, voll-automatisierter Plasmaprozess

Anschlusswerte:

Strom:
Druckluft:
Prozessgas:
Leistungsaufnahme:
Wasser:

400 V, 32 A, 50 Hz
6 bar, wasser- und ölfrei
1 bis 1,5 bar
max. 5,5 kW
2 bis 3 bar, 3 bis 7 l/min

Vakuumpumpe:

Gewicht:

System bestehend aus Vor- und Hauptpumpe

Ca. 280 kg, ohne Vakuumpumpe

Domino XV mit 3 Tabletts.

Domino XV mit Drehtrommel.

Netzwerk:

Ausrüstung mit Netzwerkkarte für Fernwartung

Kontaktaufnahme

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