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PICCOLO
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Plasmaanlage Typ PICCOLO
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Spezifikation:
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| Gesamtaufbau: |
Standgerät, 600 mm x 1900 mm x 800 mm (B x H x T) |
| Prozesskammer: |
Material: Edelstahl
Volumen: 45 l
Innenmasse: 350 mm x 300 mm x 430 mm (B x H x T) |
| Gasmengenregulation: |
1 – (4) Automatische Gasflussregler (MFC) |
| HF-Einspeisung: |
Alternativ
Mikrowellen-System: PE GIGATRON© Elektroden System, 0 bis 600 Watt.
2,45 GHz
RF - System: 0 bis 600 Watt. 13,56 MHz, mit automatischer RF - Matchwork
LF - System: 0 bis 600 Watt, 40 bis 300 kHz |
| Sicherheitselemente: |
Induktiver kodierter Türsicherheitskontakt, NOT-AUS |
| Steuerung: |
SPS mit Display (4 x 20 Zeichen), Programmierung aller Parameter |
| Anschlusswerte: |
Strom: 400 V, 16 A, 50 Hz
Druckluft: 6 bar, wasser- und ölfrei
Prozessgase: 1 bis 1,5 bar
Leistung: max. 2,5 kW |
| Gewicht: |
Ca. 200 kg, ohne Vakuumpumpe |
Optionen:
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| Vakuumpumpe: |
Vakuumpumpe, chemiefest, PFPE-Öl befüllt |
| Drehtrommeleinschub: |
Nutzvolumen ca. 5 l |
| PC-Steuerung: |
Visualisierungssoftware und Programmablauf unter Windows® |
| Drucker und Modem: |
Ausrüstung mit Drucker, Modem für Fernwartung |
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GERMANY: PLASMA ELECTRONIC GmbH, Otto-Lilienthal-Str. 2, D - 79395 Neuenburg, Tel: +49 (0)7631 7017 - 0, Fax: +49 (0)7631 7017 – 20, > email
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