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DOMINO
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Plasmaanlage Typ DOMINO
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Spezifikation:
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| Gesamtaufbau: |
Standgerät, 600 mm x 1900 mm x 800 mm (B x H x T) |
| Prozesskammer: |
Material: Edelstahl
Volumen: 80 l
Innenmasse: 400 mm x 400 mm x
500 mm (B x H x T)
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| Gasmengenregulation: |
2 – (4) Automatische Gasflussregler (MFC) |
| HF-Einspeisung: |
Alternativ
Mikrowellen-System: PE GIGATRON© Elektroden System, 0 bis 1000 Watt.
2,45 GHz
RF-System: 0 bis 1200 Watt. 13,56 MHz mit automatischer RF - Matchwork
LF-System: 0 bis 1250 Watt, 40 to 300 kHz |
| Sicherheitselemente: |
Induktiver kodierter Türsicherheitskontakt, NOT-AUS |
| Steuerung: |
SPS mit Display (4 x 20 Zeichen), Programmierung aller
Parameter |
| Anschlusswerte: |
Strom: 400 V, 32 A, 50 Hz
Druckluft: 6 bar, wasser- und
öl-frei
Prozessgase: 1 bis 1,5 bar
Leistung: max. 5,5 kW
Wasser: 2 bis
3 bar, 3 bis 7 l/min. |
| Gewicht: |
Ca. 280 kg, ohne Vakuumpumpe |
| Vakuumpumpe: |
Vakuumpumpe, chemiefest, PFPE-Öl befüllt |
| Sicherheit: |
Entspricht der gültigen CE-Norm |
Optionen:
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| Drehtrommeleinschub: |
Nutzvolumen ca. 14 l |
| PC-Steuerung: |
Visualisierungssoftware und Programmablauf unter Windows® |
| Drucker und Modem: |
Ausrüstung mit Drucker, Modem für Fernwartung |
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GERMANY: PLASMA ELECTRONIC GmbH, Otto-Lilienthal-Str. 2, D - 79395 Neuenburg, Tel: +49 (0)7631 7017 - 0, Fax: +49 (0)7631 7017 – 20, > email
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